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超高真空排气台
更新：2016-10-19 16:53:01 点击：
- 品牌 TENSTAR
- 型号 TSV-20UE
- 描述
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产品介绍
超高真空排气台（该设备可根据客户要求非标定制）用途：用于各种器件、零件排气
本设备用20工位双排工装管道结构，配有可升降加热烘箱，抽气系统于排气管路下方布置，便于拆卸和维修。整机表面平整，便于清洁，适合在净化间安装。管路全部采用不锈钢制造。阀门采用气动与手动，操作极为方便。使用可靠。本设备配备的抽气元件为进口分子泵与涡漩式干泵，抽速较大。主机与控电柜独立。具有抽气时间短，工作真空度高，等优点。
基本参数：
1、极限真空度：6×10-6Pa（150℃烘烤12小时降温后）
8×10-5Pa（150℃烘烤2小时降温后，腔体不接工件）
2.烘烤温度：≤200℃
3.分子泵：1台EXT406PX CF160
4.涡漩式干泵：1台 XDS35i 厂家：EDWARDS
5.电源220V/380V 50Hz
6.总功率：约5KW
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