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氦质谱检漏系统

类别:特殊真空设备   发布时间:2019-10-08 10:14   浏览:

 
应用范围:
    用于各种光电电真空器件、零部件排气(充气)。

基本参数:
1、24路充排气
2、极限真空度:2×10-7Pa
3、恢复真空:8X10-6Pa,30分钟
 4、 24路烤消电源
5、分子泵:1台 英国爱德华nEXT400
6、涡漩式干泵:1台美国安捷伦公司IDP15