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  氦质谱检漏系统
            类别:非标真空设备 发布时间:2019-10-08 10:14 浏览: 次

用于各种光电电真空器件、零部件排气(充气)。
基本参数:
			1、24路充排气
		
			2、极限真空度:2×10-7Pa
		
			3、恢复真空:8X10-6Pa,30分钟
		
			 4、 24路烤消电源
		
			5、分子泵:1台 英国爱德华nEXT400
		
			6、涡漩式干泵:1台美国安捷伦公司IDP15
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