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光电真空器件超高真空排气台

类别:非标真空设备   发布时间:2019-10-08 10:07   浏览:

 
应用范围:
    用于各种光电电真空器件、零部件排气(充气)。

基本参数:
u 24路充排气
u 极限真空度:2×10-7Pa
u 恢复真空:8X10-6Pa,30分钟
u 最高烘烤温度:≤200℃
u 24路烤消电源
u 分子泵:1台 英国爱德华nEXT400
u 涡漩式干泵:1台美国安捷伦公司IDP15