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光学镀膜机-深冷的应用

类别:行业新闻   发布时间:2019-10-11 14:14   浏览:

        在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中,空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽,这类残余气体在高真空状态下,抽取难度大、速度慢,而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件,深冷机可有效解决这类问题,在真空度 10-2至 10-8 pa 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,提高真空度、提高产品品质,加快抽速提高生产效率。
       

在真空室中或油扩散泵的泵口,放置一个能迅速达到-120℃以下的制冷装置(盘管或冷阱),通过其表面的深低温冷凝能力,迅速将真空腔体内的残余气体附着,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短50-80%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

1、水汽捕集器

它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。

 

2、低温冷阱

放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。